檢索結果：共18筆資料 檢索策略： "微影製程".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="微影製程"
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摘 要 科技的進步，對環境的汙染日趨嚴重，於工業界有毒氣體外洩的事件時有所聞；而在日常生活中，每到冬天常有一氧化碳中毒的事件發生，因此氣體感測器的發展倍受重視。氣體感測器除了廣泛運用於工業安全之外，…
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在目前薄膜電晶體液晶顯示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD)產業中，產品已趨輕、薄、短小，然而要朝向這目標，背光模組之導光板…
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氮化鎵是製作發光二極體最主要的材料之一，而氮化鎵的直接能隙(3.4eV)與氮化銦直接能隙(0.7eV)所混合的三元化合物氮化銦鎵(InGaN)可做為發光二極體以及太陽能電池元件。 由於p型氮化鎵之功…
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在記憶體DRAM製造的過程中，透過微影製程技術將設計之光罩轉印至光阻為一項至關重要的技術，但隨著線寬持續微縮，193nm浸潤式微影製程上達到物理極限，必須透過解析度增強技術(Resolution E…
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糖尿病為一種全球常見的疾病，病徵包含胰島素缺乏與高血糖。糖尿病主要影響身體內器官引起長期損害與功能障礙的現象，並伴隨著許多併發症，如同:心臟病、腎衰竭與失明等。目前最為廣泛發展的電化學葡萄糖生物感測…
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本實驗分為兩個部分，第一部份利用原子轉移自由基聚合(Atom Transfer Radical Polymerization, ATRP)於圖案化矽晶圓製備表面起始聚甲基丙烯酸N,N-二甲氨基乙酯(…
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中 文 摘 要 近年來由於晶圓代工產品的多樣性及難以避免的待機時間之影響，所衍生之曝光條件的變動頻繁，因而導致半導體晶圓代工廠之微影製程技術，面臨透鏡加熱效應顯著的困擾，造成0.5μm多晶矽閘層的…
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本實驗利用原子轉移自由基聚合(Atom Transfer Radical Polymerization, ATRP)於圖案化矽晶圓製備表面起始聚甲基丙烯酸 2-(二乙氨基)乙酯(Poly(2-(Di…
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由於極紫外光微影系統技術開發上仍有困難，無法立即取代現有生產線上ArF-193nm浸潤式微影系統微影製程生產，因此吸引許多研究者尋找改善方案，其中可利用光源光罩最佳化程序搜尋最佳的光罩圖案設計與對應…